2022年，QuantumDesign公司研發推出了全新的FusionScope多功能顯微鏡。該設備將SEM和AFM技術深度融合，利用SEM進行實時、快速、精準導航AFM針尖，創新性地實現同一時間、同一樣品區域和相同條件下的SEM&AFM原位精準定位與測量；測量時也可以實時觀察AFM懸臂的尖端，在不需要轉移樣品的情況下，原位進行80°; AFM與樣品臺同時旋轉，對幾乎所有樣品（包括復雜樣品）均可以實現無視野盲區觀測，尤其適合實時觀測AFM探針接觸到樣品表面時，樣品的力學性能。
2023年11月，Quantum Design中國子公司將FusionScope多功能顯微鏡引進QD中國樣機實驗室，旨在滿足國內日益增長的原位微納材料/器件綜合表征測試需求，更好地為國內的科研工作者提供專業技術支持和服務。
圖1. QD中國樣機實驗室——FusionScope多功能顯微鏡
圖2. FusionScope及組成模塊介紹：（A）FusionScope緊湊型的整體設計；（B）AFM-SEM公用的樣品腔及多種表征模式，其中SEM為掃描電子顯微鏡；AFM為原子力顯微鏡，Static為靜態模式，Dynamic為動態模式，FIRE為力學測量模式，MFM為磁學測量模式，EFM為靜電力測量模式；（C）AFM-SEM聯合共坐標系統示意圖。
Fusionscope多功能顯微鏡的問世為聯合顯微分析領域帶來了新的機會。Fusionscope多功能顯微鏡特有的AFM-SEM原位同步聯用技術在納米表征領域有著難以替代性。
1. Fusionscope在對微區表正時可以實現AFM與SEM的無縫切換，實現微區的高分辨原位表征；
圖3. Fusionscope對人造骨骼樣品的微區進行原位的AFM-SEM綜合形貌表征。
2. Fusionscope中的軟硬件設計為樣品的多角度表征提供便利 ；
圖4. Fusionscope可實現對樣品的大范圍觀測（-10°-80°），極小熱漂移和簡單明確的軟件界面。
3. Fusionscope中的多功能AFM可以對樣品微區進行原位力學，磁學和電學表征；
圖5. A）SEM表征停留在石墨烯薄膜上的AFM探針。B）SEM和AFM對在多孔硅基底上的石墨烯薄膜進行綜合表征。C）石墨烯薄膜在收到較小的加載力時的形貌圖。D）石墨烯薄膜在收到較大的加載力時的形貌圖。
圖6. A) SEM表征雙相不銹鋼樣品和AFM針尖。B)雙相不銹鋼的晶界SEM表征。C)對樣品的AFM形貌表征。D)對雙相不銹鋼晶界處進行磁結構表征。
圖7. 左圖BaTiO3陶瓷樣品的SEM圖片，中圖為樣品同一區域AFM形貌結果，右圖為+1.5V偏壓下EFM表征結果。
圖8. 左圖為通過SEM將AFM探針定位到樣品所在區域，中圖為貝殼上硅藻結構的SEM圖像，右圖為硅藻結構的AFM三維形貌圖。
Fusionscope多功能顯微鏡，可以快速，準確的實現樣品微區的原位二維，三維成像和力學，磁學以及電學性能的檢測，可被廣泛應用于材料科學、微納機電器件、芯片質檢、失效分析和生物醫學等多種應用領域。更多的應用仍在不斷開發和探索中，我們期待與您早日合作，共同進步！
樣機體驗：
為更好地服務中國科研工作者，Quantum Design 中國引進了Fusionscope多功能顯微鏡樣機，將為大家提供為專業的售前、銷售、售后技術支持，歡迎各位老師參觀試用！
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1.FusionScope多功能顯微鏡：http://www.mgygigr.com.cn/product/2022111627.shtml
